Molecular Pump Factory | Molecular Pump CNC Manufacturing
Yijin Hardware bietet eine molekulare Pumpenfabrik, die die neuesten CNC-Bearbeitung und Reinraummontage. Wir tun dies für Turbomolekularpumpen, Molekularschlepppumpen und mehr. Diese haben Toleranzen von 10-50 Mikrometern und Drehzahlen von bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute, mit Pumpgeschwindigkeiten von 10 L/s bis 4.000 L/s. Molekularpumpen sind von grundlegender Bedeutung für die Halbleiterherstellung, die Forschung und analytische Anwendungen.
Wir bieten einen umfassenden Service für Vakuum- und Molekularpumpen mit technischer Unterstützung. Dies gilt vom ersten Entwurfsgespräch bis zur Leistungsprüfung und Qualitätszertifizierung. Auf diese Weise stellen wir sicher, dass jede Molekularpumpe genau den Spezifikationen für Ihre Vakuumanwendungen entspricht.
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Wodurch unterscheidet sich eine Molekularpumpenfabrik von der Standardproduktion?
Eine Molekularpumpenfabrik benötigt spezielle CNC-Bearbeitungsmöglichkeiten, Reinraum-Montagebereiche und Vakuumprüfsysteme. Nur so können hochpräzise Turbomolekularvakuumpumpen und Molekularschlepppumpen hergestellt werden. Diese Einrichtungen müssen die Reinraumstandards der ISO-Klassen 5-7 einhalten. Damit soll verhindert werden, dass es bei der Montage von Komponenten, die mit Geschwindigkeiten zwischen 20.000 und 90.000 U/min rotieren, zu Verunreinigungen kommt. Bei der Herstellung geht es um die Präzisionsbearbeitung von Rotorbaugruppen, Statorschaufeln, keramischen Lagersystemen und Magnetschwebeelementen.
Spezialisierte Pumpentypen Wir stellen her
- Holweck-Pumpen: Mehrstufige Molekularpumpen mit schraubenförmigen Kanälen für verbesserte Verdichtungsverhältnisse
- Gaede-Pumpen: Schnell drehende Zylinderkonstruktionen für gerichtete Gasmolekül-Impulsübertragung
- Pumpen vom Typ Siegbahn: Konfigurationen mit rotierenden Scheiben für kompakte Pumpenanlagen
- Zusammengesetzte Molekularpumpen: Kombinierte Turbomolekular- und Schlepppumpen-Technologien für größere Druckbereiche
Technische Leistungsstandards
| Parameter | Bereich | Anmeldung |
|---|---|---|
| Ultimativer Druck | 10^- 8 Pa bis 10^- 6 Pa | Von der Forschung zur Industrie |
| Verdichtungsverhältnis (N₂) | 10^6 bis 10^9 | Standardanwendungen |
| Verdichtungsverhältnis (H₂) | 1.000 bis 10.000 | Leichtgasanwendungen |
| Vorvakuumpumpe Druck | 0,01 bis 0,1 mbar | Systemintegration |
Unser kompletter Service für die Herstellung von Molekularpumpen
Yijin Hardware bietet die komplette Herstellung von Molekularpumpen an, von der kundenspezifischen Konstruktion bis zur abschließenden Leistungsprüfung und Zertifizierung. Zu unseren Dienstleistungen gehören die CNC-Präzisionsbearbeitung von Rotor- und Laufschaufelbaugruppen, die Reinraumintegration von Keramiklagersystemen und Magnetschwebetechnik-Komponenten sowie umfassende Vakuumtests in speziellen Kammern. Wir fertigen alle wichtigen Turbopumpen mit vollständiger technischer Dokumentation und Qualitätszertifizierung, einschließlich CE-Kennzeichnung, UL-Zertifizierung und Einhaltung der SEMI-Normen für Halbleiteranwendungen.
Kundenspezifische Engineering-Fähigkeiten
- Gasspezifische Optimierung: Kundenspezifische Schaufelgeometrien für Wasserstoff-, Helium- und Schwergasanwendungen
- Entwicklung des digitalen Zwillings: Virtuelles Prototyping und Leistungssimulation vor der Fertigung
- Integration der vorausschauenden Wartung: Intelligente Sensoren und Steuerungssysteme für die Betriebsoptimierung
- Prüfung der Kompatibilität des Vorvakuums: Verifizierung mit spezifischen Vorpumpenkonfigurationen
Qualitätssicherungsprotokolle
Unsere Fertigung umfasst die Überwachung der statistischen Prozesskontrolle (SPC), die Überprüfung mit Koordinatenmessgeräten (CMM) mit einer Genauigkeit von ±2 Mikrometern und E-Beam-Schweißen für kritische Verbindungen. Jedes Bauteil durchläuft eine Dokumentation der Materialrückverfolgbarkeit und Reinigungsprotokolle zur Vakuumkompatibilität für UHV-Anwendungen.
Wie stellen wir die Präzision von Hochgeschwindigkeits-Molekularpumpenkomponenten sicher?
Unsere Molekularpumpenfabrik sorgt für Präzision durch fortschrittliche CNC-Bearbeitung mit Echtzeit-Überwachungssystemen, Laser-Auswuchtverfahren für Rotoren, die mit bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute arbeiten, und spezielle Montagevorrichtungen. Jede Rotorbaugruppe wird mit hochpräzisen Lasermesssystemen präzise ausgewuchtet, um Vibrationen zu vermeiden und einen stabilen Betrieb über den gesamten Drehzahlbereich zu gewährleisten. Die Anlage verwendet Koordinatenmessmaschinen (CMM) zur Überprüfung der Abmessungen kritischer Komponenten mit einer Messgenauigkeit von ±2 Mikrometern.
Fortschrittliche Auswuchttechnik
- Laser-Auswuchtsysteme: Analyse der Gewichtsverteilung in Echtzeit bei Hochgeschwindigkeitstests
- Protokolle zur Schwingungsanalyse: Mehrachsige Schwingungsmessung unter Betriebsbedingungen
- Integration von Notlagern: Automatische Rotorlandesysteme für Pumpen, die mit Hilfe von Magnetfeldern schweben
- Zweifacher Überdrehzahlschutz: Hardware- und Software-Sicherheitssysteme zur Vermeidung von Rotorschäden
Umweltkontrollsysteme
Reinraum-Montageumgebungen verhindern die Verunreinigung durch Partikel während der Integration von empfindlichen Lagersystemen. In unseren Reinräumen der ISO-Klasse 5-7 herrschen kontrollierte Temperatur (±1 °C), Luftfeuchtigkeit (±2% RH) und Luftfilterung mit HEPA-Systemen, die eine Effizienz von 99,97% für 0,3-Mikrometer-Partikel erreichen.
Welche fortschrittlichen Materialien und Technologien verwenden wir?
Bei der Herstellung unserer Molekularpumpen werden hochwertige Aluminium Legierungen (6061-T6, 7075-T6) für leichte Rotorbaugruppen, austenitische rostfreier Stahl (316L, 321) für korrosionsbeständige Gehäuse und moderne keramische Werkstoffe (Siliziumnitrid, Aluminiumoxid) für Lagersysteme. Magnetschwebesysteme umfassen Seltenerd-Permanentmagnete (Neodym-Eisen-Bor) und elektromagnetische Spulen mit digitalen Kontrollsystemen für die berührungslose Rotoraufhängung in Turbopumpen, die für Ultrahochvakuum-Umgebungen konzipiert sind.
Portfolio spezialisierter Materialien
| Komponente | Material | Wichtige Eigenschaften | Arbeitsbereich |
|---|---|---|---|
| Rotorblätter | AL 7075-T6 | 572 MPa Zugfestigkeit | Bis zu 90.000 Umdrehungen pro Minute |
| Statorgehäuse | EDELSTAHL 316L | <0,08% Kohlenstoffgehalt | -40 °C bis +150 °C |
| Keramische Lager | Si₃N₄ | 14 GPa Elastizitätsmodul | 10^-9 Pa Vakuum |
| Magnetische Dichtungen | Ferrofluid | Selbstabdichtende Eigenschaften | Rotierende Anwendungen |
Technologien zur Oberflächenbehandlung
- Hart anodisiert: Typ III Eloxierung, die eine Schichtdicke von 50-100 Mikrometer erreicht
- Chemische Vernickelung: Gleichmäßige 10-25 Mikrometer große Ablagerungen für Verschleißfestigkeit
- Präzisionsschleifen: Oberflächengüte Ra 0,1-0,4 Mikrometer für kritische Dichtflächen
- Vakuumtaugliche Reinigung: Mehrstufige Entfettungs- und Kohlenwasserstoffentfernungsprotokolle
Welche Branchen profitieren von unseren Molekularpumpen-Werksdienstleistungen?
Herstellung von Halbleitern stellt unseren größten Anwendungsbereich dar, der Ultrahochvakuumbedingungen für Sputtering, chemische Gasphasenabscheidung (CVD), chemische Gasphasenabscheidung bei niedrigem Druck (LCVD) und Ätzprozesse erfordert. Unsere Molekularpumpen ermöglichen die für die fortschrittliche Halbleiterherstellung erforderlichen Vakuumniveaus, einschließlich der Prozessknoten 7 nm und 5 nm. Solarzellenproduktionsanlagen nutzen unsere Pumpen für die Bearbeitung von Siliziumwafern und die Dünnschichtabscheidung, die eine hocheffiziente Vakuumerzeugung erfordern.
Anwendungsspezifische Leistung
- Massenspektrometrie-Systeme: Optimiertes Pumpen für die Restgasanalyse und Helium-Lecksuchanwendungen
- Elektronenmikroskopie: Vibrationsarme Designs für empfindliche Bildgebungsanwendungen in den Biowissenschaften
- Vakuum-Beschichtung: Stabiles Pumpen für die Herstellung optischer Komponenten und Displays
- Forschung und Entwicklung im Bereich Kernfusion: Zuverlässiger Betrieb für Plasmaerwärmung und Gefäßkonditionierung
Gas-spezifische Optimierung
Verschiedene Molekularpumpen eignen sich aufgrund ihres Molekulargewichts und ihrer Pumpmechanismen hervorragend für bestimmte Gastypen. Unsere kundenspezifischen Designs optimieren Schaufelwinkel und Stufenkonfigurationen für Wasserstoff (Verdichtungsverhältnis 1.000-10.000), Stickstoff (Verdichtungsverhältnis bis zu 10^9) und Inertgase, die in analytischen Instrumenten verwendet werden und eine präzise molekulare Durchflusskontrolle erfordern.
Warum sollten Sie Yijin Hardware für Molekularpumpenfabrikdienstleistungen wählen?
Yijin Hardware kombiniert mehr als 15 Jahre Erfahrung in der CNC-Präzisionsbearbeitung mit spezialisierten Fertigungskapazitäten für Molekularpumpen und liefert kundenspezifische Lösungen, die die genauen Spezifikationen für kritische Vakuumanwendungen erfüllen. Unsere nach ISO 9001:2015 und ISO 14001:2015 zertifizierte Anlage gewährleistet ein konsistentes Qualitätsmanagement in allen Fertigungsprozessen. Wir bieten umfassende technische Unterstützung, einschließlich gemeinsamer Designoptimierung, Prototypentwicklung und technischer Beratung für OEMs und Pumpenherstellerpartner.
Einzigartige Fertigungsvorteile
- Optimierung der Energieeffizienz: Frequenzumrichter und Antriebselektronik, die den Stromverbrauch um 20-30% senken
- Modularer Aufbau möglich: Auswechselbare Komponenten für vereinfachte Wartung und lange Lebensdauer
- Kundenspezifische Motorintegration: Anwendungsspezifische Ausführungen von Permanentmagnet- und bürstenlosen DC-Motoren
- Schwerpunkt Nachhaltigkeit: Auswahl wiederverwertbarer Materialien und Planung der Demontage am Ende der Nutzungsdauer
Unsere Anlage erreicht Komponententoleranzen von 10-50 Mikrometern, Drehzahlen von bis zu 90.000 U/min und Pumpgeschwindigkeiten von 10 L/s bis 4.000 L/s für alle wichtigen Pumpenkonfigurationen. Wir verfügen über Reinraum-Montageumgebungen, die den Standards der ISO-Klassen 5-7 entsprechen, und bieten eine skalierbare Produktion von einzelnen Prototypen bis hin zur Serienfertigung für industrielle Anwendungen, die mehr als 100 Einheiten erfordern.
Was unsere Kunden sagen
FAQ zur Molekularpumpenfabrik
Unsere CNC-Bearbeitungszentren erreichen durchgängig Bauteiltoleranzen von 10-50 Mikrometern für Rotorblätter, Statorbaugruppen und Lagergehäuse, die bei der Herstellung von Molekularpumpen verwendet werden. Diese Präzision wird durch Koordinatenmessgeräte (CMMs) mit einer Genauigkeit von ±2 Mikrometern und statistische Prozesskontrolle (SPC) während der Bearbeitungsvorgänge gewährleistet. Kritische Abstände zwischen rotierenden und stationären Komponenten werden mit speziellen Messvorrichtungen überprüft, die speziell für Molekularpumpenbaugruppen entwickelt wurden, die eine Lecksuche und Vakuumintegrität erfordern.
Die Herstellung kundenspezifischer Molekularpumpen erfordert in der Regel 8-12 Wochen von der anfänglichen Konstruktionsgenehmigung bis zur abschließenden Prüfung und Lieferung, je nach Komplexität der Pumpe und Spezifikationsanforderungen. Diese Zeitspanne umfasst 2-3 Wochen für die detaillierte Konstruktion und die Entwicklung des digitalen Zwillings, 4-6 Wochen für die Präzisions-CNC-Bearbeitung und die Vorbereitung der Komponenten, 1-2 Wochen für die Montage und Integration im Reinraum und 1 Woche für umfassende Leistungstests einschließlich der Überprüfung der Kompatibilität der Vorvakuumpumpe. Bei kritischen Projektanforderungen für vakuumtechnische Anwendungen können Eilaufträge mit beschleunigter Terminplanung berücksichtigt werden.
Unsere Molekularpumpenkonstruktionen umfassen kundenspezifische Schaufelgeometrien und Stufenkonfigurationen, die für bestimmte Gasarten optimiert sind, darunter Wasserstoff (mit Kompressionsverhältnissen von 1.000-10.000), Helium (optimiert für das Pumpen leichter Gase), Stickstoff (Kompressionsverhältnisse bis zu 10^9) und Prozessgase, die in der Halbleiterherstellung verwendet werden. Wir bieten anwendungsspezifische Leistungstests, einschließlich Überprüfung des Saugvermögens für die Zielgase, Messung des Enddrucks und Bewertung der Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen. Jede Pumpe enthält detaillierte Leistungskurven und Betriebsparameter für die spezifizierte Gaszusammensetzung und Betriebsbedingungen in Anwendungen, die eine präzise Durchsatzkontrolle erfordern.
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