Fabrication de pompes moléculaires | Fabrication de pompes moléculaires CNC
Yijin Solution (formerly Yijin Hardware) offers a molecular pump factory that blends the latest Usinage CNC et l'assemblage en salle blanche. Nous le faisons pour les pompes turbomoléculaires, les pompes à entraînement moléculaire, etc. Ces pompes ont des tolérances de 10 à 50 micromètres et des vitesses de rotation allant jusqu'à 90 000 tours/minute, avec des gammes de vitesses de pompage allant de 10 L/s à 4 000 L/s. Les pompes moléculaires sont essentielles pour la fabrication de semi-conducteurs, la recherche et l'analyse.
We offer full vacuum and molecular pump services with engineering support. This is the case from the first design conversation through performance testing and quality certification. That’s how we make sure that every molecular pump meets the exact specs for your vacuum applications.
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Qu'est-ce qui différencie une usine de fabrication de pompes moléculaires d'une fabrication standard ?
Une usine de pompes moléculaires a besoin de capacités d'usinage CNC spéciales, de zones d'assemblage en salle blanche et de systèmes d'essai sous vide. Ces équipements sont indispensables pour fabriquer des pompes à vide turbomoléculaires et des pompes à entraînement moléculaire de haute précision. Ces installations doivent répondre aux normes des salles blanches ISO de classe 5-7. Cela permet d'éviter toute contamination lors de l'assemblage de composants qui tournent à des vitesses comprises entre 20 000 et 90 000 tours par minute. Le processus de fabrication consiste à usiner avec précision les assemblages de rotors, les pales de stator, les systèmes de roulements en céramique et les composants de lévitation magnétique.
Conception de pompes spécialisées Types de pompes que nous fabriquons
- Pompes Holweck: Pompes moléculaires multi-étagées avec canaux hélicoïdaux pour des taux de compression améliorés
- Pompes Gaede: Conception de cylindres à rotation rapide pour le transfert directionnel de la quantité de mouvement des molécules de gaz
- Pompes de type Siegbahn: Configurations de disques rotatifs pour les installations de pompes compactes
- Pompes moléculaires composées: Combinaison des technologies de pompe turbomoléculaire et de pompe d'entraînement pour des plages de pression plus larges
Normes de performance technique
| Paramètres | Gamme | Application |
|---|---|---|
| Pression ultime | 10^- 8 Pa à 10^- 6 Pa | De la recherche à l'industrie |
| Taux de compression (N₂) | 10^6 à 10^9 | Applications standard |
| Taux de compression (H₂) | 1 000 à 10 000 | Applications pour les gaz légers |
| Pression de la pompe d'appui | 0,01 à 0,1 mbar | Intégration des systèmes |
Nos services complets de fabrication de pompes moléculaires
Yijin Solution (formerly Yijin Hardware) provides complete molecular pump manufacturing from custom design engineering through final performance testing and certification. Our services include precision CNC machining of rotor and moving blade assemblies, clean room integration of ceramic bearing systems and magnetic levitation components, and comprehensive vacuum testing using specialized chambers. We manufacture all major turbo pumps with full engineering documentation and quality certification including CE marking, UL certification, and SEMI standards compliance for semiconductor applications.
Capacités d'ingénierie sur mesure
- Optimisation spécifique au gaz: Géométries de pales personnalisées pour les applications liées à l'hydrogène, à l'hélium et aux gaz lourds
- Développement de jumeaux numériques: Prototypage virtuel et simulation des performances avant la fabrication
- Intégration de la maintenance prédictive: Capteurs et systèmes de contrôle intelligents pour l'optimisation opérationnelle
- Test de compatibilité avant-aspiration: Vérification avec des configurations spécifiques de pompes d'appui
Protocoles d'assurance qualité
Notre fabrication comprend le contrôle statistique des processus (SPC), la vérification par machine à mesurer tridimensionnelle (CMM) avec une précision de ±2 micromètres et le soudage par faisceau d'électrons pour les joints critiques. Chaque composant fait l'objet d'une documentation sur la traçabilité des matériaux et de protocoles de nettoyage de compatibilité sous vide pour les applications UHV.
Comment garantir la précision des composants des pompes moléculaires à grande vitesse ?
Notre usine de pompes moléculaires maintient la précision grâce à un usinage CNC avancé avec des systèmes de surveillance en temps réel, des méthodes d'équilibrage au laser pour les rotors fonctionnant jusqu'à 90 000 tours par minute et des dispositifs d'assemblage spécialisés. Chaque assemblage de rotor est soumis à un équilibrage de précision à l'aide de systèmes de mesure laser de haute précision afin d'éviter les vibrations et de garantir un fonctionnement stable sur toute la plage de vitesse. L'installation utilise des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) pour la vérification dimensionnelle des composants critiques, avec une précision de mesure de ±2 micromètres.
Technologie avancée d'équilibrage
- Systèmes d'équilibrage laser: Analyse de la répartition du poids en temps réel lors des essais à grande vitesse
- Protocoles d'analyse des vibrations: Mesure des vibrations multiaxiales dans des conditions d'exploitation
- Intégration du palier d'urgence: Systèmes d'atterrissage automatique des rotors de pompes en lévitation grâce à des champs magnétiques
- Double protection contre la survitesse: Systèmes de sécurité matériels et logiciels empêchant l'endommagement du rotor
Systèmes de contrôle de l'environnement
Les environnements d'assemblage en salle blanche empêchent la contamination particulaire lors de l'intégration de systèmes de roulements sensibles. Nos salles blanches ISO de classe 5-7 maintiennent une température (±1 °C) et une humidité (±2% RH) contrôlées, ainsi qu'une filtration de l'air avec des systèmes HEPA atteignant une efficacité de 99,97% pour les particules de 0,3 micromètre.
Quels matériaux et technologies de pointe utilisons-nous ?
Notre fabrication de pompes moléculaires fait appel à des aluminium (6061-T6, 7075-T6) pour les assemblages de rotors légers, les alliages austénitiques (6061-T6, 7075-T6) pour les assemblages de rotors légers, les alliages acier inoxydable (316L, 321) pour les boîtiers résistants à la corrosion, et des matériaux céramiques avancés (nitrure de silicium, alumine) pour les systèmes de roulement. Les systèmes de lévitation magnétique intègrent des aimants permanents en terres rares (néodyme-fer-bore) et des bobines électromagnétiques avec des systèmes de contrôle numérique pour la suspension sans contact du rotor dans les turbopompes conçues pour les environnements à ultravide.
Portefeuille de matériaux spécialisés
| Composant | Matériau | Propriétés principales | Plage de fonctionnement |
|---|---|---|---|
| Lames de rotor | AL 7075-T6 | 572 MPa résistance à la traction | Jusqu'à 90 000 tours/minute |
| Boîtier du stator | SS 316L | <0,08% teneur en carbone | -40 °C à +150 °C |
| Paliers en céramique | Si₃N₄ | 14 GPa module d'élasticité | 10^-9 Pa sous vide |
| Joints magnétiques | Ferrofluide | Propriétés d'auto-étanchéité | Applications rotatives |
Technologies de traitement de surface
- Anodisation dure: Anodisation de type III, permettant d'obtenir une épaisseur de revêtement de 50 à 100 micromètres.
- Nickelage chimique: Dépôts uniformes de 10-25 micromètres pour la résistance à l'usure
- Meulage de précision: Finition de la surface Ra 0,1-0,4 micromètre pour les surfaces d'étanchéité critiques
- Nettoyage compatible avec le vide: Protocoles de dégraissage et d'élimination des hydrocarbures en plusieurs étapes
Quelles sont les industries qui bénéficient de nos services de fabrication de pompes moléculaires ?
Fabrication de semi-conducteurs représente notre plus grand secteur d'application, nécessitant des conditions de vide très poussé pour les processus de pulvérisation, de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), de dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LCVD) et de gravure. Nos pompes moléculaires permettent d'atteindre les niveaux de vide nécessaires à la fabrication de semi-conducteurs avancés, y compris les nœuds de processus 7 nm et 5 nm. Les installations de production de cellules solaires utilisent nos pompes pour le traitement des plaquettes de silicium et les applications de dépôt de couches minces qui nécessitent une production de vide très efficace.
Performances spécifiques à l'application
- Systèmes de spectrométrie de masse: Pompage optimisé pour l'analyse des gaz résiduels et les applications de détection de fuites à l'hélium
- Microscopie électronique: Conceptions à faibles vibrations pour les applications d'imagerie sensibles dans les sciences de la vie
- Revêtement sous vide: Pompage stable pour la fabrication de composants optiques et d'écrans
- R&D sur la fusion nucléaire: Fonctionnement fiable pour le chauffage du plasma et le conditionnement des cuves
Optimisation spécifique au gaz
Différentes pompes moléculaires excellent avec des types de gaz spécifiques en fonction du poids moléculaire et des mécanismes de pompage. Nos conceptions personnalisées optimisent les angles des pales et les configurations des étages pour l'hydrogène (taux de compression de 1 000 à 10 000), l'azote (taux de compression jusqu'à 10^9) et les gaz inertes utilisés dans les instruments d'analyse nécessitant un contrôle précis du flux moléculaire.
Why Choose Yijin Solution (formerly Yijin Hardware) for Molecular Pump Factory Services?
Yijin Solution (formerly Yijin Hardware) combines 15+ years of precision CNC machining expertise with specialized molecular pump manufacturing capabilities, delivering custom solutions that meet exact specifications for critical vacuum applications. Our ISO 9001:2015 and ISO 14001:2015 certified facility ensures consistent quality management throughout manufacturing processes. We provide comprehensive engineering support including collaborative design optimization, prototype development, and technical consultation for OEMs and pump manufacturer partners.
Des avantages uniques en matière de fabrication
- Optimisation de l'efficacité énergétique: Entraînements à fréquence variable et électronique d'entraînement, réduisant la consommation d'énergie de 20-30%
- Capacité de conception modulaire: Composants interchangeables pour une maintenance simplifiée et une longue durée de vie
- Intégration de moteurs sur mesure: Conception de moteurs à aimant permanent et de moteurs à courant continu sans balais spécifiques à l'application
- Développement durable: Sélection des matériaux recyclables et planification du désassemblage en fin de vie
Nos installations permettent d'obtenir des tolérances sur les composants de 10 à 50 micromètres, des vitesses de rotation allant jusqu'à 90 000 tours/minute et des vitesses de pompage allant de 10 L/s à 4 000 L/s pour toutes les principales configurations de pompes. Nous maintenons des environnements d'assemblage en salle blanche répondant aux normes ISO de classe 5-7 et offrons une production modulable depuis les prototypes uniques jusqu'à la fabrication en volume pour les applications industrielles nécessitant plus de 100 unités.
Ce que disent nos clients
FAQ de l'usine de pompes moléculaires
Nos centres d'usinage CNC atteignent régulièrement des tolérances de 10 à 50 micromètres pour les pales de rotor, les assemblages de stator et les boîtiers de roulement utilisés dans la fabrication des pompes moléculaires. Nous maintenons ces niveaux de précision grâce à des machines à mesurer tridimensionnelles (MMT) d'une précision de ±2 micromètres et au contrôle statistique des processus (CSP) pendant les opérations d'usinage. Les jeux critiques entre les composants rotatifs et fixes sont vérifiés à l'aide de dispositifs de mesure spécialisés, conçus spécifiquement pour les assemblages de pompes moléculaires nécessitant une détection des fuites et l'intégrité du vide.
La fabrication de pompes moléculaires sur mesure prend généralement de 8 à 12 semaines, de l'approbation initiale de la conception jusqu'aux essais finaux et à la livraison, en fonction de la complexité de la pompe et des exigences du cahier des charges. Ce délai comprend 2 à 3 semaines pour l'ingénierie détaillée et le développement des jumeaux numériques, 4 à 6 semaines pour l'usinage CNC de précision et la préparation des composants, 1 à 2 semaines pour l'assemblage et l'intégration en salle blanche, et 1 semaine pour les tests de performance complets, y compris la vérification de la compatibilité avec les pompes dorsales. Les commandes urgentes peuvent être traitées avec un calendrier accéléré pour les exigences de projets critiques dans les applications de technologie du vide.
Nos pompes moléculaires sont conçues avec des géométries de pales personnalisées et des configurations d'étages optimisées pour des types de gaz spécifiques, notamment l'hydrogène (qui atteint des taux de compression de 1 000 à 10 000), l'hélium (optimisé pour le pompage de gaz légers), l'azote (taux de compression allant jusqu'à 10^9) et les gaz de procédé utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs. Nous fournissons des tests de performance spécifiques à l'application, y compris la vérification de la vitesse de pompage pour les gaz cibles, la mesure de la pression finale et l'évaluation de la compatibilité de la pompe d'appui. Chaque pompe comprend des courbes de performance détaillées et des paramètres opérationnels pour la composition du gaz spécifié et les conditions de fonctionnement dans les applications nécessitant un contrôle précis du débit.
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