белая накладка внизу.png

Что такое турбомолекулярные насосы?

Турбомолекулярные насосы - это устройства для передачи импульса, позволяющие получить высокий вакуум за счет передачи кинетической энергии молекулам газа. Для этого используются быстро вращающиеся лопасти ротора, смешанные с красными неподвижными лопастями статора. Эти вакуумные насосы с осевым компрессором работают совершенно противоположно обычным турбинам. Это происходит потому, что они добавляют энергию к газу, а не отбирают ее. Многоступенчатая конструкция быстро сжимает молекулы газа от давления на входе около 10^-3 Торр до сверхвысокого вакуумного давления менее 10^-8 Торр.

Основные операционные механизмы

Конфигурация лопастей ротора-статора создает систематическое сжатие за счет:

  • Перенос импульса: Молекулы газа сталкиваются с быстро движущимися поверхностями ротора, вращающегося со скоростью до 90 000 оборотов в минуту.
  • Направленный поток: Угловая геометрия лопастей направляет рассеянные молекулы преимущественно в сторону выхлопа
  • Прогрессивное сжатие: Несколько ступеней обеспечивают степень сжатия, превышающую 10^8 для молекул водорода и 10^10 для N2

Интеграция резервного насоса

Турбомолекулярные насосные системы требуют использования насосов обратного хода, включая пластинчато-роторные, спиральные вакуумные насосы или сухие винтовые насосы:

  • Удалите сжатый газ из выпускного отверстия
  • Поддерживайте оптимальное давление в форвакуумном насосе
  • Обеспечение запуска насоса при атмосферном давлении
что такое турбомолекулярные насосы
белая накладка сверху opt.png

Наши услуги по производству турбомолекулярных насосов

Yijin Hardware предоставляет полный комплекс услуг по производству турбомолекулярных насосов, включая разработку индивидуального дизайна, прецизионную механическую обработку с ЧПУ, сборку и тестирование производительности. Возможности нашего завода по производству насосов включают изготовление ротора с допусками ±0,001 мм, обработку корпуса статора и сборку интегрированного приводного модуля с использованием 5-осевых центров с ЧПУ. Мы поставляем молекулярные вакуумные насосы с высокой скоростью откачки от 50 до 5000 л/с для газообразного азота и степенью сжатия более 10^8 для молекул водорода.

Возможности прецизионного производства с ЧПУ

КомпонентТолерантностьОтделка поверхностиМатериал
Лопасти ротора±0,001 ммRa 0,2 мкмНержавеющая сталь 316L
Корпус статора±0,005 ммRa 0,4 мкмАлюминиевый сплав 6061
Посадочные места подшипников±0,0005 ммRa 0,1 мкмЗакаленная сталь
Геометрия горла±0,002 ммRa 0,3 мкмСплавы, совместимые с вакуумом

Протоколы контроля качества

Наше комплексное тестирование включает в себя:

  • Проверка критических размеров на координатно-измерительной машине
  • Динамическая балансировка ротора для устранения вибрации
  • Анализ вибрации, обеспечивающий плавную работу на максимальных скоростях
  • Сборка в чистом помещении, предотвращающая загрязнение, для чистых высоковакуумных систем
 

наши услуги по производству турбомолекулярных насосов
как мы достигаем превосходной производительности насосов благодаря точности обработки на станке

Как мы добиваемся превосходной производительности насосов благодаря точности ЧПУ?

Компания Yijin Hardware добивается превосходной производительности насосов благодаря прецизионной обработке с ЧПУ профилей лопастей ротора, которые оптимизируют углы столкновения молекул и минимизируют турбулентность на этапах сжатия. Наши 5-осевые центры с ЧПУ обрабатывают лопасти ротора с чистотой поверхности Ra 0,2 мкм и угловыми допусками ±0,01 градуса для обеспечения максимальной эффективности передачи импульса. Точная геометрия лопастей создает оптимальные конфигурации горловин между соседними лопастями ротора, которые направляют молекулы газа преимущественно в сторону выхлопа.

Расширенная оптимизация геометрии лопастей

В конструкциях наших турбомолекулярных вакуумных насосов используется моделирование вычислительной гидродинамики для оптимизации кривизны лопастей для конкретных составов газа и условий эксплуатации.

Конструкции с высоким коэффициентом сжатия:

  • Геометрия горла между лопастями ротора максимально направлена вперед
  • Оптимизация кривизны лопастей с помощью анализа методом конечных элементов
  • Шероховатость поверхности предотвращает отражение молекул для эффективной передачи энергии

Конфигурации с высокой скоростью потока:

  • Расположение лезвий под углом 45 градусов вблизи центральной оси
  • Оптимизированные зазоры между компонентами ротора и статора
  • Нестандартная толщина лопастей, обеспечивающая баланс между прочностью конструкции и аэродинамической эффективностью

Совершенствование производственных процессов

Наше высокоточное производство включает в себя:

  • Термическая обработка для снятия напряжений, устраняющая внутренние напряжения
  • Нестандартные конструкции роторов для конкретных газовых составов
  • Специализированные покрытия для улучшения совместимости с вакуумом
  • Контроль загрязнения на протяжении всего процесса сборки, обеспечивающий работу без масла

В каких отраслях используются наши решения для турбомолекулярных насосов?

На предприятиях по производству полупроводников наши турбомолекулярные вакуумные насосы используются для процессов физического осаждения из паровой фазы (PVD) и химического осаждения из паровой фазы (CVD), требующих вакуума ниже 10^-6 Торр. Наша работа без загрязнений обеспечивает качество продукции в чистых помещениях, где загрязнение частицами повреждает полупроводниковые приборы. Интеграция с электронно-лучевыми системами позволяет создавать точные тонкие пленки для производства интегральных схем и микросхем.

Приложения для научных исследований

Наши качественные турбомолекулярные насосы служат для различных исследовательских задач, требующих точного контроля вакуума и отсутствия загрязнений.

Системы ускорителей частиц:

  • Эксперименты по столкновению элементарных частиц, требующие сверхвысокого вакуума ниже 10^-9 Торр
  • Вакуумные камеры, обеспечивающие отсутствие загрязнений
  • Непрерывная работа, поддерживающая графики исследований

Аналитические приборы:

  • Электронно-микроскопические системы для анализа материалов
  • Оборудование для изучения поверхности на атомном уровне
  • Поддержка криогенной камеры для квантовых вычислений с интеграцией вакуумных манометров

Промышленные производственные процессы

Передовые производственные области с широким спектром применения включают в себя:

  • Системы электронно-лучевой сварки для аэрокосмических компонентов
  • Вакуумные печи для термообработки с удобным управлением
  • Камеры для моделирования космического пространства для аэрокосмических испытаний
  • Процессы нанесения вакуумных покрытий в стекольной промышленности
  • Промышленные системы нанесения покрытий, требующие точного контроля вакуума
в каких отраслях промышленности используются наши решения для турбомолекулярных насосов
какие передовые функции отличают наши турбомолекулярные насосы

Какие дополнительные функции отличают наши турбомолекулярные насосы?

Yijin Hardware использует технологию магнитных подшипников, исключающую механический контакт между вращающимися и неподвижными компонентами, что обеспечивает отсутствие вибраций и продлевает срок службы подшипников. Система электромагнитных подшипников, также называемая активными магнитными левитирующими подшипниками, подвешивает ротор в сборе, где вал поддерживается за счет магнитной силы, предотвращая загрязнение масла и достигая предельного давления ниже 5×10^-9 Торр без процедур запекания. Эти молекулярные насосы с магнитной левитацией позволяют непрерывно работать в чувствительных к загрязнению условиях.

Интеллектуальные системы управления

ХарактеристикаТехнологияВыгодаПриложение
Регулируемая скоростьПреобразование частотыОптимизация с учетом специфики газаМногокомпонентные системы
Мониторинг в режиме реального времениЦифровые датчикиПредиктивное обслуживаниеПроизводственные условия
Автоматическая защитаИнтеллектуальные контроллерыЗащита оборудованияРабота без присмотра
Удаленная диагностикаIoT ConnectivityСокращение времени простояГлобальные установки

Преимущества модульной конструкции

Наши насосные системы отличаются компактной конструкцией и гибкими возможностями установки:

  • Заменяемые в полевых условиях узлы ротора, сводящие к минимуму время простоя в обслуживании
  • Интегрированные системы охлаждения с возможностью водяного и воздушного охлаждения с помощью насоса
  • Различные конфигурации фланцев (ISO-K, ISO-F, CF)
  • Настраиваемая ориентация впускных отверстий для интеграции в вакуумные системы

Как обеспечить качество и надежность производства?

Yijin Hardware внедряет системы управления качеством ISO 9001:2015 на протяжении всего процесса производства турбомолекулярных насосов в Китае, включая входной контроль материалов, контроль качества в процессе производства и окончательное тестирование производительности. Наши протоколы обеспечения качества включают проверку координатно-измерительной машины, сертификацию материалов на наличие сплавов, совместимых с вакуумом, и проверку чистоты поверхности с помощью методов подсчета частиц. Каждый насос проходит индивидуальные эксплуатационные испытания, в ходе которых документируются кривые скорости откачки, коэффициенты сжатия и предельные достижения давления.

Процедуры контроля загрязнения

Наши высокопроизводительные молекулярные насосы проходят строгий контроль загрязненности для обеспечения оптимальных характеристик вакуумной техники.

Сборка в чистом помещении:

  • Чистое помещение класса 1000, предотвращающее загрязнение частицами
  • Специальные процедуры обращения с чувствительными к вакууму компонентами
  • Системы фильтрации воздуха, обеспечивающие отсутствие загрязнений

Совместимость материалов:

  • Конструкция из нержавеющей стали 316L, совместимой с вакуумом
  • Материалы с низким газовыделением, сертифицированные для сверхвысокого вакуума
  • Обработка поверхности, устраняющая виртуальные утечки

Стандарты испытаний на надежность

Комплексная проверка включает в себя:

  • Ускоренное испытание на долговечность в моделируемых условиях эксплуатации
  • Термоциклирование для проверки стабильности характеристик
  • Вибрационные испытания, обеспечивающие механическую целостность при максимальной скорости вращения
  • Испытания на герметичность, подтверждающие целостность вакуума до 10^-10 Торр-Л/с
как обеспечить качество и надежность производства
Почему стоит выбрать оборудование Yijin для производства турбомолекулярных насосов

Почему стоит выбрать Yijin Hardware для производства турбомолекулярных насосов?

Компания Yijin Hardware сочетает 15-летний опыт обработки деталей с ЧПУ со специализированными знаниями в области вакуумных технологий, чтобы обеспечить высокое качество производства турбомолекулярных насосов, превышающее международные стандарты производительности. На нашем заводе по производству насосов установлены передовые 5-осевые центры с ЧПУ, координатно-измерительные машины и сборочные участки в чистых помещениях, специально разработанные для производства прецизионных вакуумных компонентов. Мы добиваемся снижения затрат на 30-40% по сравнению с европейскими производителями при сохранении эквивалентных технических характеристик и стандартов качества.

Наши технические возможности в области турбомолекулярной техники в Китае включают анализ применения для оптимизации системы, проектирование ротора на заказ с использованием вычислительной гидродинамики, консультации по интеграции резервных насосов и руководство по установке с поддержкой ввода в эксплуатацию. Мы обеспечиваем прямые заводские цены без наценок дистрибьюторов, гибкие возможности по изготовлению от прототипов до серийных партий, глобальные поставки с прецизионной упаковкой компонентов и круглосуточную техническую поддержку для критически важных приложений.

белая накладка внизу.png

Что говорят наши клиенты

Доктор Сара Чен ★★★★★
Производство турбомолекулярных насосов
YIJIN's molecular pump factory produces exceptional quality turbomolecular pumps with outstanding pumping speeds and ultimate vacuum levels. Their semiconductor-grade pumps have significantly improved our research facility's vacuum capabilities.
12 октября 2024 года
Майкл Родригес ★★★★★
Системы высоковакуумного производства
Their magnetically levitated molecular pumps demonstrate excellent reliability and minimal vibration in our coating applications. The factory's quality control and precision manufacturing exceed industry standards.
28 сентября 2024 года

Сертификат

Китай Турбомолекулярные
Часто задаваемые вопросы о насосном заводе

Наши турбомолекулярные насосы обеспечивают скорость перекачки от 50 до 5000 л/с для газообразного азота, при этом коэффициент сжатия превышает 10^8 для молекул водорода и 10^10 для молекул азота. Предельное давление достигает менее 5×10^-9 Торр без процедуры запекания в конструкциях с магнитными подшипниками и менее 10^-8 Торр в конфигурациях с обычными подшипниками. Эксплуатационные характеристики зависят от конструкции ротора, рабочей скорости и специфических требований к применению различных составов газа.

Мы обрабатываем геометрию горловины между соседними лопастями ротора с допусками ±0,002 мм, используя 5-осевые центры с ЧПУ и специализированные системы крепления. Координатно-измерительные машины проверяют все критические размеры, а измерения чистоты поверхности подтверждают качество Ra 0,3 мкм. Точная конфигурация горловины направляет молекулы газа максимально вперед, а моделирование с помощью вычислительной гидродинамики оптимизирует геометрию для конкретных задач перекачки и состава газа.

Наши турбомолекулярные насосы интегрируются со спиральными, пластинчато-роторными и сухими черновыми насосами в зависимости от требований применения и чувствительности к загрязнениям. Мы обеспечиваем полное проектирование системы, включая расчеты размеров обратного насоса, конфигурацию вакуумных линий и интеграцию системы управления. Техническая поддержка включает оптимизацию давления перед вакуумом, анализ газовой нагрузки и автоматическую настройку последовательности для работы без присмотра в производственных условиях.

Начните сегодня. Быстрое изготовление деталей.

Бесплатное проектирование механически обработанных деталей для ваших проектов с быстрыми сроками выполнения.

ru_RURU

Пожалуйста, приложите ваши 2D CAD чертежи и 3D CAD модели в любом формате, включая STEP, IGES, DWG, PDF, STL и т.д. Если у вас несколько файлов, сожмите их в ZIP или RAR. В качестве альтернативы, отправьте ваш RFQ по электронной почте по адресу info@yijinsolution.com.

Нажмите или перетащите файлы в эту область для загрузки.Вы можете загрузить до 15 файлов.
Флажки

Пожалуйста, приложите ваши 2D CAD чертежи и 3D CAD модели в любом формате, включая STEP, IGES, DWG, PDF, STL и т.д. Если у вас несколько файлов, сожмите их в ZIP или RAR. В качестве альтернативы, отправьте ваш RFQ по электронной почте по адресу info@yijinsolution.com.

Форматы 3D-рисунков: .step/.stp, .dwg, .m3d, .x_t, .sldprt, .stl, .CATPart, .CATProduct, .iges/.igs
Форматы 2D-чертежей: .dwg, .cdw, .SLDDRW, .scr

Сжатые форматы: .zip, .rar, .7z

Форматы изображений: .pdf, .jpg/.jpeg, .gif, .png, .webp, .tif/.tiff

Формат видео: .mp4

Офисные форматы: .txt, .docx, .xlsx, .ppt, .ods